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非晶硅太陽能電池沉積設備主要用于在玻璃基片上沉積非晶硅薄膜工藝，是太陽能電池生產線上的關鍵設備，該設備有爐體機柜、電器控制柜、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)和R F電源等組成。采用工作站實行了全自動控制：并且有高精度的壓力控制系統(tǒng)。通過該設備在基片上生長外延膜，在片內、片間和批間的均勻性和一致性都達到了國際同類產品水平。
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